[发明专利]一种晶体制造炉及晶体制造工艺在审
| 申请号： | 201810380251.5 | 申请日： | 2018-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN108531979A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 杨建春 | 申请（专利权）人： | 上海翌波光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B15/00;C30B33/02;C30B15/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201801 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶体制造炉及晶体制造工艺，包括坩埚、保温结构、线圈、温度计、冷媒管道和主机；保温结构包裹在坩埚的外侧侧面和外侧底部，线圈缠绕在保温结构的外侧侧面上，温度计与坩埚连接，主机与温度计连接，主机通过温度计获取坩埚的温度；冷媒管道与坩埚连通，冷媒管道的另一端与冷媒罐连接，冷媒罐通过冷媒管道向坩埚输出冷媒气体。本发明的优点和有益效果在于：降低了坩埚热量流失，提高了能源利用率，提高了晶体制造炉的使用寿命，不仅可有效的避免坩埚过快损坏，还将可晶体条集合制成晶体性能达到设计指标的成品晶体；同时，在补氧步骤中，坩埚的温度水平不会使坩埚出现过快损坏的情况；所生产的成品晶体不容易由于升降温开裂。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 冷媒管道 温度计 保温结构 主机 成品晶体 制造工艺 冷媒罐 制造 能源利用率 冷媒气体 热量流失 使用寿命 温度水平 线圈缠绕 侧面 补氧 连通 升降 集合 输出 生产 | ||
【主权项】：
1.一种晶体制造炉，其特征在于，包括坩埚、保温结构、线圈、温度计、冷媒管道和主机；所述保温结构包裹在所述坩埚的外侧侧面和外侧底部，所述线圈缠绕在所述保温结构的外侧侧面上，所述温度计与所述坩埚连接，所述主机与所述温度计连接，所述主机通过所述温度计获取所述坩埚的温度；所述冷媒管道与所述坩埚连通，所述冷媒管道的另一端与冷媒罐连接，所述冷媒罐通过所述冷媒管道向所述坩埚输出冷媒气体。
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