[发明专利]扫描型探针显微镜

摘要

本发明提供扫描型探针显微镜，即使是在试样表面倾斜状态等也可以适当测量力曲线的数据。具备：位置变更部(位置变更控制部172等)，在悬臂(12)的固定端(122)与试样表面接近及远离的Z方向以及垂直于Z方向的X方向与Y方向上，使固定端与试样表面的位置相对地变化；挠曲量测量部(挠曲量计算部171等)，测量悬臂(12)的挠曲量；Z方向移动距离检测部(173)，在固定端相对于试料表面从初始位置移动到探针(11)的前端与试样表面接触且挠曲量达到规定值为止的期间，检测Z方向的移动距离；初始位置变更部(14)，当移动距离低于下限值时将初始位置变更为更远离试样表面的位置，当移动距离超过上限值时将初始位置变更更为接近试样表面的位置。

主权项

1.一种扫描型探针显微镜，悬臂的一端作为固定端，另一端作为可动端，使设置于悬臂的该可动端的探针的前端接近并接触试样表面后，使该探针前端从该试样表面脱离，在此过程中测量该悬臂的挠曲量而进行力曲线测量，其特征在于，具备：a)位置变更机构，在Z方向以及X方向与Y方向上，使该固定端与该试样表面的位置相对地变化，所述Z方向为所述固定端与所述试样表面接近以及远离的方向，所述X方向与Y方向垂直于该Z方向；b)挠曲量测量机构，测量所述悬臂的挠曲量；c)Z方向移动距离检测机构，在所述固定端相对于该试样表面从规定的初始位置相对地移动到所述探针前端与所述试样表面接触且所述挠曲量达到规定值为止的期间，检测所述固定端在Z方向上的移动距离；d)初始位置变更机构，当所述移动距离低于规定的下限值时，将所述初始位置变更为更远离所述试样表面的位置，当所述移动距离超过规定的上限值时，将所述初始位置变更为更接近所述试样表面的位置。