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[发明专利]扫描型探针显微镜-CN201880012577.0有效
发明人： 大田昌弘 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2018-02-22 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： G01Q20/02 文献下载
摘要：提供一种扫描型探针显微镜，其具备：测定光照射部(171)，其向设置于悬臂(15)的可动端的反射面照射光；光检测部(174)，其具有比从反射面反射的反射光的入射区域大的受光面，通过该受光面被分割成了多个区域的受光面来检测该反射光；挠曲量计算部(41)，其基于向多个区域入射的光量的比例来求出悬臂(15)的挠曲量；判定部(42)，其判定悬臂(15)的挠曲的针对悬臂(15)的基端与试样(10)之间的距离的变化量是否为阈值Kth以上；以及受光面移动部(18)，其在变化量比阈值Kth小的情况下，使受光面移动使得抵消变化量。
扫描探针显微镜

[发明专利]扫描型探针显微镜-CN201810324335.7有效
发明人： 大田昌弘 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2018-04-12 - 公布日： 2021-03-02 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本发明提供扫描型探针显微镜，即使是在试样表面倾斜状态等也可以适当测量力曲线的数据。具备：位置变更部(位置变更控制部172等)，在悬臂(12)的固定端(122)与试样表面接近及远离的Z方向以及垂直于Z方向的X方向与Y方向上，使固定端与试样表面的位置相对地变化；挠曲量测量部(挠曲量计算部171等)，测量悬臂(12)的挠曲量；Z方向移动距离检测部(173)，在固定端相对于试料表面从初始位置移动到探针(11)的前端与试样表面接触且挠曲量达到规定值为止的期间，检测Z方向的移动距离；初始位置变更部(14)，当移动距离低于下限值时将初始位置变更为更远离试样表面的位置，当移动距离超过上限值时将初始位置变更更为接近试样表面的位置。
扫描探针显微镜

[发明专利]扫描型探针显微镜用数据显示处理装置以及处理方法-CN201480083538.1有效
发明人：新井浩;大田昌弘 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2014-11-21 - 公布日： 2019-10-01 - 主分类号： G01Q30/04 文献下载
摘要：扫描型探针显微镜用数据显示处理装置(1)具备：群组信息存储部(37)，针对每个群组，对多个测定数据进行管理存储；指定数据取得单元(32)，从群组信息存储部(37)取得使用者指定的测定数据即指定数据；显示控制单元(34)，将指定数据作为图像显示在显示部的画面；预备图像生成单元(33)，以指定数据的决定为触发，从群组信息存储部(37)取得属于包含指定数据的群组的其他测定数据，生成将其他测定数据显示在画面时的图像即预备图像；以及第1显示切换单元(36)，依照画面显示有指定数据时进行的、使用者的第1规定输入操作，使预备图像在画面规定区域内切换显示，能够不强迫使用者进行烦杂操作而简便地阅览多个测定数据。
测定数据群组信息预备图像存储部探针显微镜处理装置数据显示扫描型群组数据取得单元显示控制单元管理存储画面显示生成单元输入操作图像显示显示切换触发阅览图像

[发明专利]原子力显微镜以及采用原子力显微镜的相互作用力测定方法-CN200880002061.4有效
发明人： 大田昌弘;大薮范昭;阿部真之;卡斯坦斯·奥斯卡;杉本宜昭;森田清三 -专利权人：国立大学法人大阪大学;株式会社岛津制作所
申请日： 2008-01-07 - 公布日： 2009-12-16 - 主分类号： G01N13/16 文献下载
摘要：本发明提供一种原子间力显微镜以及采用该原子间力显微镜的相互作用力测定方法。由FM-AFM得到的频率偏移Δf，能够由由来于远距离相互作用力的Δf_LR和由来于短距离相互作用力的Δf_SR的简单的线形结合来表示。在此，仅对比较短的距离范围来分别测定试料表面的原子缺陷上的Δf曲线和目的原子上的Δf曲线(S1、S2)，求出两者的差分Δf曲线(S3)。差分Δf曲线只由来于短距离相互作用力，因此在此适用公知的变换处理来求出表示力和距离Z之间的关系的F曲线，据此得到目的原子上的短距离相互作用力(S4)。由于能够缩小Δf曲线测定时的距离范围，因此能够缩短测定时间，Δf曲线→F曲线的变换一次就结束，因此运算时间也能缩短。由此，在求出在试料表面的原子和探针之间起作用的短距离相互作用力时，缩短Δf曲线的测定所需要的时间以及运算时间，实现精度提高，并且能够提高处理能力。
原子显微镜以及采用相互作用力测定方法

[发明专利]液体中试料的分析方法-CN200810129971.0有效
发明人： 大田昌弘;大薮范昭;安达宏昭;阿部真之;森田清三;森勇介;佐佐木孝友 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2008-07-30 - 公布日： 2009-03-04 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：一种液体中试料的分析方法，其能够容易且可靠地防止分析用液体的蒸发。当使用扫描式探针显微镜来对液体中的试料进行观察时，使浸渍着试料(13)以及探针(15)的分析用液体(16)的周围充满不会与分析用液体(16)混合的密闭用液体(17)，借此形成分析用液体(16)与外部气体隔离的密闭状态，所述扫描式探针显微镜使设置在悬臂(14)前端的探针(15)接近浸渍在液体中的试料(13)的表面，对此试料表面进行扫描，检测试料(13)与探针(15)之间的相互作用并形成图像。
液体中试料分析方法

[发明专利]探针位置控制系统和方法-CN200710138848.0有效
发明人：阿部真之;大田昌弘;杉本宜昭;森田健一;大薮范昭;森田清三;卡斯坦斯·奥斯卡 -专利权人：株式会社岛津制作所;国立大学法人大阪大学
申请日： 2007-05-24 - 公布日： 2007-12-05 - 主分类号： G12B21/20 文献下载
摘要：本发明提供一种消除热漂移或者其他变化的影响的技术，通过使用该技术，改善扫描探针显微镜或者原子机械手的观测或者操作精度，校正在观测或者操作过程中由于发热或者其他因素引起的探针与样品相对位置的前述变化。为了获得样品表面的原子级图像，或者在样品表面上的原子上执行特定操作，本发明适用于探针位置控制方法，以便当测量样品表面上的目标原子与探针尖端之间相互作用时控制探针与样品的相对位置。在本方法中，当探针在平行于样品表面的两个方向上以频率f₁和f₂相对于样品振荡时(S1a)，探针与样品的相对位置发生变化。同时，根据在垂直于被探测样品表面的方向上作用的相互作用的测量值来探测频率f₁和f₂消失的点(或者特征点)(S1b)。然后，控制探针与样品的相对运动，从而保持由此探测的测量值(即被跟踪的特征点；S1c)，确定前述的相对运动速度(S1d)。随后，利用探测的速度校正相对位置控制(S2)。
探针位置控制系统方法

[发明专利]扫描探针显微镜-CN200610058365.5有效
发明人： 大田昌弘 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2006-03-03 - 公布日： 2006-09-13 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：本发明提供一种扫描探针显微镜，它根据观察对象或观察目的，无需交换扫描仪，在维持高分辨率的状态下，可进行微小范围至广域的观察。该扫描探针显微镜中，设有使探针13在X－Y－Z轴方向上移动的探针侧扫描仪10与使样品12在X－Y－Z轴方向上移动的样品侧扫描仪11这两个扫描仪。使用最大扫描范围较小的扫描仪作为探针侧扫描仪10，使用最大扫描范围较大的扫描仪作为样品侧扫描仪11，并根据观察对象或观察目的掉换二者而使用。或者，利用探针侧扫描仪10进行微小范围的扫描，并且通过样品侧扫描仪11使观察视野移动。
扫描探针显微镜

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