[发明专利]液滴测定方法、液滴测定装置及器件制造方法、制造装置有效
| 申请号： | 201810274713.5 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN108731590B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 末益智志;增永圭二郎 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24;B41J2/01 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李国华 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种液滴测定方法、液滴测定装置及器件制造方法、制造装置，在仅通过来自测定对象的液滴表面的光反射量得不到充分的亮度对比度的情况下，不使透镜的数值孔径(NA)等变化而提高亮度对比度。液滴测定装置包括：测定台，其在表面具有凹部，并且保持透光性的样品基板；摄像部，其向表面形成了液滴的上述样品基板上照射光，测定来自上述样品基板以及上述液滴的反射光的光量；以及测定控制部，其基于上述摄像部测定的上述反射光的光量的亮度信息，求出上述液滴的体积或者表面形状，上述样品基板的厚度大于上述光的波长并且为上述液滴的焦距以下。 | ||
| 搜索关键词： | 测定 方法 装置 器件 制造 | ||
【主权项】：
1.一种液滴测定装置，包括：测定台，其在表面具有凹部，保持透光性的样品基板；摄像部，其向表面形成了液滴的所述样品基板上照射光，测定来自所述样品基板以及所述液滴的反射光的光量；以及测定控制部，其基于所述摄像部测定的所述反射光的光量的亮度信息，求出所述液滴的体积或表面形状，所述样品基板的厚度大于所述光的波长，并且为所述液滴的焦距以下。
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