[发明专利]耐高温低摩擦DLC/AlTiSiN多层复合涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201810270718.0 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN108300967A | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 蔡耀;杨兵;赵鑫;刘琰;陈浩;吴忠烨 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 张火春 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了耐高温低摩擦DLC/AlTiSiN多层复合涂层及其制备方法，所述的DLC/AlTiSiN多层复合涂层，包括基底、基底上的过渡层、以及过渡层上的功能层；所述的功能层由DLC层和AlTiSiN层交替构成，其中，功能层的最底层和最顶层均为AlTiSiN层。本发明通过交替沉积AlTiSiN涂层和DLC涂层来制备多层复合涂层，所得多层复合涂层在有氧环境和无氧环境下均具有优异的耐高温性和抗摩擦磨损性，且可生长厚膜，有望作为保护涂层广泛应用于高温耐摩擦的场合。 | ||
| 搜索关键词： | 多层复合涂层 功能层 制备 低摩擦 过渡层 耐高温 基底 交替沉积 耐高温性 无氧环境 抗摩擦 耐摩擦 氧环境 最底层 最顶层 厚膜 磨损 生长 应用 | ||
【主权项】：
1.耐高温低摩擦DLC/AlTiSiN多层复合涂层，其特征是，包括：基底、基底上的过渡层、以及过渡层上的功能层；所述的功能层由DLC层和AlTiSiN层交替构成，其中，功能层的最底层和最顶层均为AlTiSiN层。
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