[发明专利]熔体本征对流波动的原位探测方法、控制方法及控制系统有效
| 申请号： | 201810149828.1 | 申请日： | 2018-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN108441941B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 朱允中;王彪;林少鹏 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | C30B15/22 | 分类号： | C30B15/22;C30B15/28 |
| 代理公司： | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人： | 吴静芝 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种熔体本征对流波动的原位探测方法，通过实时采集晶体生长过程中的晶体和熔体间的界面相电信号，对所述界面相电信号进行傅里叶变换处理，提取其中的长周期信号作为熔体本征对流波动信号，根据所述熔体本征对流波动信号的波动规律获得熔体本征对流数据，以反馈晶体生长界面的对流状态。本发明还涉及一种熔体本征对流波动的控制方法，根据本发明反馈的对流状态调整晶体生长条件，以控制晶体生长界面的对流波动。本发明还涉及一种熔体本征对流波动的控制系统，包括电信号采集系统、电信号处理系统和对流调控系统。通过本发明可实时、精确的反馈晶体生长界面的熔体对流波动情况，并实现闭环控制。 | ||
| 搜索关键词： | 对流 波动 原位 探测 方法 控制 控制系统 | ||
【主权项】：
1.一种熔体本征对流波动的原位探测方法，其特征在于：包括以下步骤：S1：实时采集晶体生长过程中的晶体和熔体间的界面相电信号；S2：对所述界面相电信号进行傅里叶变换处理，提取其中的长周期信号作为熔体本征对流波动信号，根据所述熔体本征对流波动信号的波动规律获得熔体本征对流数据，以反馈晶体生长界面的对流状态。
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