[发明专利]一种蒸镀冷却板

摘要

本发明公开了一种蒸镀冷却板，用于解决现有精细金属掩膜蒸镀贴合存在某区域褶皱，没有办法消除所有的褶皱的问题。本发明实施例冷却板设置有多个磁力单独可控的磁力单元，每个磁力单元上都设置有磁力单元一一对应的力学传感器，用于检测磁力单元对应位置的精细金属掩膜板贴合后对冷却板的作用力信息。还设有控制单元，其中，控制单元与各力学传感器和磁力单元连接，用于根据各力学传感器的反馈的作用力信息控制对应的磁力单元的磁力大小。在具体蒸镀贴合时，如果冷却板存在某区域褶皱，控制单元根据力学传感器的反馈，进而控制力学传感器对应的磁力单元的磁力大小。这种方式能够针对不同的区域褶皱施加不同的磁力，使每个区域褶皱都得到修复。

主权项

1.一种蒸镀冷却板，用于精细金属掩膜系统，其特征在于，包括：冷却板；设置于所述冷却板的多个磁力单独可控的磁力单元；与所述磁力单元一一对应的力学传感器，每一对相互对应的力学传感器和磁力单元中，力学传感器用于检测磁力单元对应位置的精细金属掩膜板贴合后对冷却板的作用力信息；控制单元，所述控制单元与各所述力学传感器以及磁力单元连接，用于根据各所述力学传感器的反馈的作用力信息控制对应的磁力单元的磁力大小。