[发明专利]一种硅片鼓泡清洗装置

摘要

本发明公开了一种硅片鼓泡清洗装置，所属硅片清洗装置技术领域，提供一种高效的硅片鼓泡清洗装置。清洗箱包括上清洗箱、下清洗箱两部分，下清洗箱底部设置鼓泡装置，箱壁上设置加热装置，上清洗箱的顶部设置蒸汽管路，蒸汽管路与冷凝器相连接，冷凝器底部设置回流管路，回流管路与上清洗箱连接；鼓泡装置包括固定板、气管、压缩空气泵，气管呈S形排列在固定板上，气管上均匀排列有气孔，固定板连接在清洗箱底部，气管的两端均与压缩空气泵相连接，空气压缩泵设置在清洗箱的外部，下清洗箱的顶部设置硅片放置架，硅片放置架为扁平镂空结构。其主要用途是对硅片进行清洗。

主权项

1.一种硅片鼓泡清洗装置，其特征在于：包括清洗箱(01)、鼓泡装置(02)、加热装置(03)、蒸汽管路(04)、冷凝器(05)、回流管路(06)，所述清洗箱(01)为圆柱状，所述清洗箱(01)包括上清洗箱(07)、下清洗箱(08)两部分，所述上清洗箱(07)、下清洗箱(08)通过螺纹可进行彼此连接，所述下清洗箱(08)底部设置有鼓泡装置(02)，所述下清洗箱(08)箱壁上设置有加热装置(03)，所述上清洗箱(07)的顶部设置有蒸汽管路(04)，所述蒸汽管路(04)与所述的冷凝器(05)相连接，所述冷凝器(05)底部设置有回流管路(06)，所述回流管路(06)与所述的上清洗箱(07)连接；所述鼓泡装置(02)包括固定板(09)、气管(10)、压缩空气泵(11)，所述气管(10)呈S形排列在所述的固定板(09)上，所述气管(10)上均匀排列有气孔(12)，所述固定板(09)连接在所述清洗箱(01)底部，所述气管(10)的两端均与所述的压缩空气泵(11)相连接，所述空气压缩泵设置在清洗箱(01)的外部，所述空气压缩泵的入口接入所述下清洗箱(08)内部，保证清洗箱(01)为密闭空间，所述下清洗箱(08)的顶部设置有硅片放置架(13)，所述硅片放置架(13)由不锈钢材料制作而成，所述硅片放置架(13)为扁平镂空结构，所述下清洗箱(08)中添加的清洗液的水位高于所述加热装置(03)的设置高度，所述下清洗箱(08)中添加的清洗液的水位高度与所述硅片放置架(13)的高度相同或者略高于硅片放置架(13)的设置高度。