[发明专利]一种高透过率导电薄膜的制作工艺及其制成的液晶显示屏有效
| 申请号： | 201810055433.5 | 申请日： | 2018-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN108399963B | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 张如庆;陈耀文;王艳卿 | 申请（专利权）人： | 精电（河源）显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01B5/14 | 分类号： | H01B5/14;H01B13/00;G02F1/1343;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 517000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种高透过率导电薄膜的制作工艺，利用直流磁控溅射技术制备导电薄膜，其中包括步骤：S1：将玻璃基板分别进行丙酮、乙醇及去离子水进行超声波清洗工作，各清洗工作均维持30min，然后在真空干燥箱中烘干；S2：靶位选择在电磁靶位上，并将靶材的倾斜靶偏角设为倾斜15°～30°；S3：通入氩气和氧气作为溅射气体，其中氧氩比设为15:85；并控制溅射时溅射电压为220V～260V之间，直流溅射功率为100W～120W，控制溅射时间为45min～70min，在玻璃基板上溅射形成导电薄膜。利用倾斜的靶材进行溅射，制造出多孔的导电薄膜，通过多孔结构降低薄膜的折射率，同时适当增加溅射的时间，提供较高的溅射功率，使得薄膜的厚度增加，逐渐减低薄膜的方阻和电阻率，提高电学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透过 导电 薄膜 制作 工艺 及其 制成 液晶显示屏 | ||
【主权项】：
1.一种高透过率导电薄膜的制作工艺，其特征在于，利用直流磁控溅射技术制备导电薄膜，其中包括步骤：S1：将玻璃基板分别进行丙酮、乙醇及去离子水进行超声波清洗工作，各清洗工作均维持30min，然后在真空干燥箱中烘干；S2：靶位选择在电磁靶位上，并将靶材的倾斜靶偏角设为倾斜15°～30°；S3：通入氩气和氧气作为溅射气体，其中氧氩比设为15:85；并控制溅射时溅射电压为220V～260V之间，直流溅射功率为100W～120W，控制溅射时间为45min～70min，在玻璃基板上溅射形成导电薄膜。
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