[发明专利]一种刻蚀阳极膜层的方法及其显示面板有效
| 申请号： | 201810054627.3 | 申请日： | 2018-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN108461656B | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 张田超 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L51/52 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种刻蚀阳极膜层的方法，用于解决现有技术中对阳极膜层进行刻蚀时会导致刻蚀药液与阳极膜层下的金属连接线接触，使得阳极膜层下的金属连接线被刻蚀的问题，包括：使用第一药液对所述阳极膜层进行第一次刻蚀，去除所述阳极膜层中的顶层导电氧化物膜层和金属导电膜层；使用第二药液对第一次刻蚀后的所述阳极膜层进行第二次刻蚀，去除所述阳极膜层中的底层导电氧化物膜层，所述第二药液选自不会损伤所述金属连接线的药液中的一种或多种混合药液。本发明还公开了一种显示面板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 阳极 方法 及其 显示 面板 | ||
【主权项】：
1.一种刻蚀阳极膜层的方法，其特征在于，包括：使用第一药液对所述阳极膜层进行第一次刻蚀，去除所述阳极膜层中的顶层导电氧化物膜层和金属导电膜层；使用第二药液对第一次刻蚀后的所述阳极膜层进行第二次刻蚀，去除所述阳极膜层中的底层电氧化物膜层，所述第二药液选自不会损伤所述金属连接线的药液中的一种或多种混合药液。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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