[发明专利]一种高性能TiAlSiN纳米复合涂层及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201810053431.2 | 申请日： | 2018-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN108456843B | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 王启民;刘辞海;李季飞;吴正涛 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/32 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 杨晓松 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种高性能TiAlSiN纳米复合涂层及其制备方法和应用，该复合涂层包括Cr结合层、CrN过渡层和TiAlSiN功能层；其中，所述的CrN过渡层中各元素的原子百分比含量为：Cr：40～75at.％和N：25～60at.％，所述的TiAlSiN功能层中各元素的原子百分比含量为：Ti：15～55at.％，Al：14～50at.％，Si：2～12at.％，N：12～53at.％。脉冲电弧制备出的该复合涂层具有非晶a‑Si |
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| 搜索关键词： | 一种 性能 tialsin 纳米 复合 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种高性能TiAlSiN纳米复合涂层，其特征在于，该复合涂层包括Cr结合层、CrN过渡层和TiAlSiN功能层；其中，所述的CrN过渡层中各元素的原子百分比含量为：Cr：40～75at.％和N：25～60at.％，所述的TiAlSiN功能层中各元素的原子百分比含量为：Ti：15～55at.％，Al：14～50at.％，Si：2～12at.％，N：12～53at.％。
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