[发明专利]激光制绒装备及其方法

摘要

本发明涉及激光制绒装备及方法，包含底座、硅片输送机构、硅片上下料机构、激光镜座支撑机构以及激光并行加工系统，硅片输送机构置于底座上，硅片上下料机构和激光镜座支撑机构围绕硅片输送机构间隔分布于底座上，激光镜座支撑机构上安装激光并行加工系统。利用硅片上下料机构对硅片自动上下料，通过硅片输送机构带动硅片间歇性转动，实现自动化加工；激光并行加工系统对硅片进行刻蚀，在硅片表面形成陷光结构；通过将硅片划分为多个区域，实现大范围的加工；利用多组扫描振镜对划分区域进行并行加工，提高制绒效率。

主权项

激光制绒装备，其特征在于：包含底座(100)、硅片输送机构(200)、硅片上下料机构(300)、激光镜座支撑机构(400)以及激光并行加工系统(500)，硅片输送机构(200)置于底座(100)上，硅片上下料机构(300)和激光镜座支撑机构(400)围绕硅片输送机构(200)间隔分布于底座(100)上，激光镜座支撑机构(400)上安装激光并行加工系统(500)。