[发明专利]防反射膜及深紫外发光器件有效
| 申请号： | 201780081401.6 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN110140067B | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 丸山司 | 申请（专利权）人： | 同和电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/115 | 分类号： | G02B1/115;H01L33/60 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种适用于深紫外发光器件的用途的防反射膜，其具有优异的耐湿性，并且即使对于深紫外光的斜入射而言反射率也较小。本发明的防反射膜具备：设置于窗构件上的、具有第1折射率的第1层；具有第2折射率的第2层；和具有第3折射率的第3层，在波长280nm下，所述第1折射率为1.6以上且2.0以下，所述第2折射率为2.0以上且2.7以下、并且大于所述第1折射率，所述第3折射率为1.3以上且1.6以下、并且小于所述第1折射率，构成所述第1折射率、所述第2折射率和所述第3折射率的材料由互不相同的氧化物构成。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 深紫 发光 器件 | ||
【主权项】：
1.一种防反射膜，其特征在于，其设置于透明的窗构件上，防止中心发射波长λ为260nm以上且340nm以下的范围内的深紫外光的反射，所述防反射膜具备：设置于所述窗构件上的、具有第1折射率的第1层；该第1层上的、具有第2折射率的第2层；和该第2层上的、具有第3折射率的第3层，在波长280nm下，所述第1折射率为1.6以上且2.0以下，所述第2折射率为2.0以上且2.7以下、并且大于所述第1折射率，所述第3折射率为1.3以上且1.6以下、并且小于所述第1折射率，具有所述第1折射率、所述第2折射率和所述第3折射率的层的材料由互不相同的氧化物构成。
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