[发明专利]MEMS传感器

摘要

一种MEMS传感器(1)，包括耦合到MEMS接口电路(20)的MEMS换能器(10)。MEMS接口电路(20)包括偏压产生器(100)、差分放大器(200)、电容器(300)和反馈控制电路(400)。偏压产生器(100)产生用于操作MEMS换能器的偏压(Vbias)。可变电容器(300)连接到差分放大器(200)的输入节点之一(I200a)。差分放大器的输出节点(A200a、A200b)中的至少一个耦合到偏压产生器(100)的输出滤波器(110)的基端(T110)。来自偏压产生器(100)的任何干扰信号是在差分放大器(200)的输入节点(I200a、I200b)上相等地划分的共模信号，并因此被拒绝。

主权项

1.一种微电子机械系统传感器，包括：‑微电子机械系统换能器(10)，‑微电子机械系统接口电路(20)，其具有第一输入端(I20a)以为微电子机械系统换能器(10)提供偏压(Vbias)并接收第一输入信号(Vinm)，并且具有第二输入端(I20b)以接收来自微电子机械系统换能器(10)的第二输入信号(Vinp)，并且具有至少一个输出端(A20a、A20b)以提供输出信号(Voutm、Voutp)，所述输出信号(Voutm、Voutp)是第一和第二输入信号(Vinm、Vinp)的表现，‑其中，所述微电子机械系统换能器(10)耦合到微电子机械系统接口电路(20)的第一和第二输入端(I20a、I20b)，‑其中，所述微电子机械系统接口电路(20)包括偏压产生器(100)、差分放大器(200)、电容器(300)和反馈控制电路(400)，‑其中，所述偏压产生器(100)具有输出节点(A100)以提供偏压(Vbias)，所述输出节点(A100)连接到微电子机械系统接口电路(20)的第一输入端(I20a)，‑其中，所述差分放大器(200)具有第一输入节点(I200a)和第二输入节点(I200b)，所述第一输入节点(I200a)经由可变电容器(300)连接到第一输入端(I20a)，所述第二输入节点(I200b)连接到微电子机械系统接口电路(20)的第二输入端(I20b)，‑其中，所述差分放大器(200)具有至少一个输出节点(A200a、A200b)，以提供输出信号(Voutm、Voutp)，所述至少一个输出节点(A200a、A200b)连接到微电子机械系统接口电路(20)的至少一个输出端(A20a、A20b)，‑其中，所述差分放大器(200)被配置为在差分放大器(200)的至少一个输出节点(A200a、A200b)处提供输出信号(Voutm、Voutp)，‑其中，所述偏压产生器(100)包括输出滤波器(110)，‑其中，所述差分放大器(20)的至少一个输出节点(A200a、A200b)经由反馈控制电路(400)连接到偏压产生器(100)的输出滤波器(110)的基端(T110)，‑其中，所述反馈控制电路(400)配置为在偏压产生器(100)的输出滤波器(110)的基端(T110)处提供反馈信号(FS)，使得输出滤波器(110)的基端(T110)处的电压电势以与偏压产生器(100)的输出节点(A100)处的电压电势改变的方式相同的方式改变。