[发明专利]量测目标测量选配方案的自动选择有效
| 申请号： | 201780067363.9 | 申请日： | 2017-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN109923476B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 王代冕;张生睿;范期翔 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;董典红 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种方法，包括使用第一模型对多个不同量测目标测量选配方案中的每一个量测目标测量选配方案执行第一模拟，从多个量测目标测量选配方案中选择第一组量测目标测量选配方案，第一组量测目标测量选配方案满足第一规则，使用第二模型对来自第一组的每个量测目标测量选配方案执行第二模拟，以及从第一组中选择第二组量测目标测量选配方案，第二组量测目标测量选配方案满足第二规则，第一模型比第二模型更不准确或更快，和/或第一规则比第二规则限制更少。 | ||
| 搜索关键词： | 目标 测量 选配 方案 自动 选择 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：由硬件计算机使用第一模型对多个不同量测目标测量选配方案中的每一个量测目标测量选配方案执行第一模拟；从所述多个量测目标测量选配方案中选择第一组量测目标测量选配方案，所述第一组量测目标测量选配方案满足第一规则；由所述计算机使用第二模型对来自所述第一组的每个量测目标测量选配方案执行第二模拟；和从所述第一组中选择第二组量测目标测量选配方案，所述第二组量测目标测量选配方案满足第二规则，所述第一模型比所述第二模型更不准确或更快、和/或所述第一规则比所述第二规则限制更少。
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