[发明专利]工件加工设备有效
| 申请号： | 201780055593.3 | 申请日： | 2017-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN109690727B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 葛兰·FR·吉尔克里斯特;梁树荣 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/305 | 分类号： | H01J37/305;H01J37/304 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种能够对带电离子的提取角度及反应性中性粒子的提取角度进行独立控制的工件加工设备。所述设备包括具有提取开孔的提取板，带电离子通过所述提取开孔。可使用等离子体鞘调制及电场来确定带电离子的提取角度。提取板还包括与提取开孔分开的一个或多个中性物质通道，反应性中性粒子是以所选择提取角度通过所述一个或多个中性物质通道。所述中性物质通道的几何构造决定反应性中性粒子的提取角度。中性物质通道还可包括用于减少通过中性物质通道的带电离子的数目的抑制器。所述设备可用于各种应用，例如定向反应性离子蚀刻。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 加工 设备 | ||
【主权项】：
1.一种工件加工设备，包括：等离子体产生器；等离子体室；以及提取板，具有第一开孔及第二开孔；其中带电离子以第一选择提取角度经由所述第一开孔被提取，且反应性中性粒子以第二选择提取角度通过所述第二开孔，其中所述第二开孔不同于所述第一开孔。
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