[实用新型]一种晶圆镊子有效
| 申请号： | 201721922427.2 | 申请日： | 2017-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN207807489U | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 黄雷 | 申请（专利权）人： | 昆山成功环保科技有限公司 |
| 主分类号： | B25B9/02 | 分类号： | B25B9/02 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 黄珩 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及了一种晶圆镊子，其包括：上镊体，下镊体，上镊头，下镊头。上镊体与下镊体通过其尾部固定连接。在上镊体与下镊体相对内侧面设置有弹性体。上镊头和下镊头为折线形结构，且交错设置。这样一来，在弹性体的作用下，上镊头和下镊头的夹持面相互贴合。使用时，首先通过握持压紧上、下镊体实现对弹性体的压缩，从而使得上、下镊头的夹持面相互分开，当晶圆镊子相对于晶圆放置到位后，放松上、下镊体，在弹性体回复力的作用下实现对晶圆的自动压紧。 | ||
| 搜索关键词： | 镊体 镊头 镊子 晶圆 夹持面 种晶 本实用新型 折线形结构 侧面设置 交错设置 自动压紧 回复力 贴合 握持 压紧 压缩 放松 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆镊子，其包括：上镊体，下镊体，上镊头，下镊头，所述上镊体与所述下镊体通过其尾部固定连接，其特征在于，在所述上镊体与所述下镊体相对内侧面上设置有弹性体；所述上镊头和所述下镊头为折线形结构，且交错设置。
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