[实用新型]一种可控线性蒸发装置

摘要

本实用新型涉及一种可控线性蒸发装置，该可控线性蒸发源包括坩埚、坩埚加热器、导管、导管加热器，所述坩埚和所述导管构成线性蒸发源，在所述导管和所述坩埚之间设置可控性阀门，来控制所述坩埚内材料气体的压力，进而在较短时间内改变材料气体的瞬间蒸发速率。采用该可控线性蒸发装置进行蒸发镀膜时，可以更准确地控制平均蒸发速率，扩大蒸发速率的调节区间，提高线性蒸发源的瞬间蒸发速率，同时在改变温度工艺时节约原料的消耗。

主权项

1.一种可控线性蒸发装置，包括坩埚、坩埚加热器、导管、导管加热器，其特征在于，所述坩埚和所述导管相连接构成线性蒸发源，在所述导管和所述坩埚之间设置阀门；所述阀门为可控性阀门，通过阀门开关，来控制所述坩埚内材料气体的压力，进而在较短时间内改变材料气体的瞬间蒸发速率，通过阀门开启和关闭的时间比例，来准确调节平均蒸发速率；所述装置还包括控制系统，所述控制系统包括手动模式和自动模式，所述控制系统用来控制所述阀门的开关；所述手动模式即人为控制阀门的开启和关闭；所述自动模式为设置阀门每次开启的时间和关闭的时间进行自动开启和关闭；所述阀门的外部设置阀门加热系统，用来防止材料气体在通过阀门由于压差变化造成的冷凝；所述线性蒸发源外层设置屏蔽层，用以保证蒸发源内部温度不流失，也用以隔绝外部温度，避免对蒸发源进行干扰；所述坩埚外部设置坩埚加热器，坩埚加热器对坩埚底部和侧面进行加热，实现对坩埚中的材料加热；所述导管加热器分布于所述导管的外部，所述导管加热器对导管周围进行加热，进而维持材料在导管内保持气体状态；所述导管的一侧分布若干蒸发孔，孔径的大小和间距通过软件模拟获得，以实现大面积的均匀沉积。