[实用新型]一种连续真空镀膜生产线有效
| 申请号： | 201721555010.7 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN207537530U | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 廖荣新;禤瑞彬;黄进高 | 申请（专利权）人： | 肇庆市前沿真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360 | 代理人： | 朱亚 |
| 地址： | 526000 广东省肇庆市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于真空镀膜领域，尤其涉及一种连续真空镀膜生产线。所述连续真空镀膜生产线，包括设置在连续真空镀膜生产线中部的镀膜室、设置在连续真空镀膜生产线尾端的后过渡室、出片室，所述后过渡室和出片室之间设置有真空锁，所述后过渡室和出片室之间还设置有用于调节后过渡室和出片室之间的气压的第一气压调节装置。通过在出片室与后过渡室之间设置一个第一气压调节装置，在开启真空锁之前先开启第一气压调节装置，出片室的空气经过第一气压调节装置流入后过渡室，待出片室和后过渡室的气压基本平衡后再开启真空锁，这样既加快了生产速度又不会出现工件损坏、真空锁组件损坏、抽气机组损坏等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 出片室 过渡室 连续真空镀膜 气压调节装置 真空锁 气压 本实用新型 抽气机组 工件损坏 真空镀膜 组件损坏 镀膜室 平衡 生产 | ||
【主权项】：
1.一种连续真空镀膜生产线，包括设置在连续真空镀膜生产线中部的镀膜室(5)、设置在连续真空镀膜生产线尾端的后过渡室(8)、出片室(9)，所述后过渡室(8)和出片室(9)之间设置有真空锁(14)，其特征在于：所述后过渡室(8)和出片室(9)之间还设置有用于调节后过渡室(8)和出片室(9)之间的气压的第一气压调节装置(11)。
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