[实用新型]一种真空系统有效
| 申请号： | 201721404792.4 | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN207567343U | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 周作兴;程丙勋 | 申请（专利权）人： | 奕瑞影像科技（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;F04B37/14;G01L21/30 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 215434 江苏省苏州市太*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种真空系统，包括：真空反应腔室、真空泵、连接管路及真空计；真空泵连接真空反应腔室，连接管路的两端分别连接真空反应腔室及真空计，其中，连接管路至少包括一个弯折节点。本实用新型的真空系统将真空反应腔室与电离式真空计之间的连接管路替换为弯折管路，避免电离式真空计在多次使用后因为电极受到污染导致不能成功点火的问题，保障设备正常高效工作。 | ||
| 搜索关键词： | 真空反应腔室 连接管路 真空系统 电离式真空计 本实用新型 真空计 弯折 真空泵连接 保障设备 多次使用 真空泵 电极 替换 点火 污染 成功 | ||
【主权项】：
1.一种真空系统，其特征在于，所述真空系统至少包括：真空反应腔室、真空泵、连接管路及真空计；所述真空泵连接所述真空反应腔室，所述连接管路的两端分别连接所述真空反应腔室及所述真空计，其中，所述连接管路至少包括一个弯折节点。
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