[实用新型]一种测量QC片膜厚的辅助工具有效

专利信息
申请号: 201721126140.9 申请日: 2017-09-04
公开(公告)号: CN207335669U 公开(公告)日: 2018-05-08
发明(设计)人: 付国振;武艺宁 申请(专利权)人: 苏州同冠微电子有限公司
主分类号: G01B21/08 分类号: G01B21/08
代理公司: 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 代理人: 曹军
地址: 215600 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种测量QC片膜厚的辅助工具,包括限位件、载板、抵顶杆,限位件包括底板和凸设于底板四周的挡板,底板和挡板之间的容腔形成收容槽,载板可活动地收容于收容槽,底板和载板均对应开设有多个测量孔,抵顶杆穿设所述底板,且抵顶杆的一端连接于载板上。使用时,本实用新型的辅助工具能够有效确保前后测量的是QC片相同地方的膜厚,减少了测量前后膜值的误差,使测量的膜值变化更加精确,并且操作方便,适合普遍推广。
搜索关键词: 一种 测量 qc 片膜厚 辅助工具
【主权项】:
1.一种测量QC片膜厚的辅助工具,其特征在于:包括限位件(1)、载板(2)、抵顶杆(3),所述限位件(1)包括底板(11)和凸设于所述底板(11)四周的挡板(12),所述底板(11)和所述挡板(12)之间的容腔形成收容槽(13),所述载板(2)可活动地收容于所述收容槽(13),所述底板(11)和所述载板(2)均对应开设有多个测量孔(112),所述抵顶杆(3)穿设所述底板(11),且所述抵顶杆(3)的一端连接于所述载板(2)上。
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