[实用新型]一种硅片用新型抛光装置有效
| 申请号： | 201721072115.7 | 申请日： | 2017-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN207120063U | 公开（公告）日： | 2018-03-20 |
| 发明（设计）人： | 汪伟华 | 申请（专利权）人： | 浙江羿阳太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/04 | 分类号： | B24B1/04;B24B55/00 |
| 代理公司： | 杭州赛科专利代理事务所(普通合伙)33230 | 代理人： | 陈俊波 |
| 地址： | 313299 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片用新型抛光装置，包括抛光装置壳体、三相驱动电机、超声波发生器和液体流出管，所述抛光装置壳体上方安装有保护轴承，所述保护轴承上方安装有传动轴，所述传动轴上方安装有所述三相驱动电机，所述三相驱动电机上方设置有抛光清洗槽，所述抛光磨片内部安装有超声波发射探头，所述超声波发射探头下方安装有硅片放置槽，所述硅片放置槽下方连通有减震弹簧，所述抛光装置壳体外侧安装有所述液体流出管，所述抛光装置壳体顶部安装有外部电源插口。有益效果在于能够在对硅片抛光的同时对其表面进行超声波清洗，能够有效防止在抛光时掉落的小颗粒粘附在抛光磨片上，对硅片造成划痕。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 新型 抛光 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片用新型抛光装置，其特征在于：包括抛光装置壳体（1）、三相驱动电机（4）、超声波发生器（8）和液体流出管（12），所述抛光装置壳体（1）上方安装有保护轴承（2），所述保护轴承（2）上方安装有传动轴（3），所述传动轴（3）上方安装有所述三相驱动电机（4），所述三相驱动电机（4）上方设置有抛光清洗槽（5），所述抛光清洗槽（5）上方安装有抛光磨片（6），所述抛光磨片（6）上方安装有超声传输管（7），所述超声传输管（7）上方连接有所述超声波发生器（8），所述超声波发生器（8）下方安装有超声波发射探头（9），所述超声波发射探头（9）下方安装有硅片放置槽（10），所述硅片放置槽（10）下方连通有减震弹簧（11），所述抛光装置壳体（1）外侧安装有所述液体流出管（12），所述抛光装置壳体（1）顶部安装有外部电源插口（13）。
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