[实用新型]新型上电极安装装置有效
| 申请号： | 201720948727.1 | 申请日： | 2017-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN206976283U | 公开（公告）日： | 2018-02-06 |
| 发明（设计）人： | 辛笛 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司11212 | 代理人： | 杨立,朱毅 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型上电极安装装置，包括操作台，操作台的上端设置有至少两个与定位孔一一对应的操作台定位销，操作台定位销插入其对应的定位孔中，以将冷却盘固定在操作台上，操作台上沿周向开有多个与螺纹通孔一一对应的通孔，当上电极安装到冷却盘上后，通过通孔将固定螺丝将安装到螺纹盲孔和螺纹通孔中。本实用新型可以轻松实现上电极和冷却盘的定位，便于上电极和冷却盘的固定，使上电极和冷却盘轻松且稳定的安装在一起，减少晶圆在生产过程中的中缺陷的几率，提高晶圆良率。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 电极 安装 装置 | ||
【主权项】：
一种新型上电极安装装置，用以对冷却盘(100)和上电极(200)进行组装，所述上电极(200)为圆盘形，其下端沿周向设有多个螺纹盲孔(210)，所述冷却盘由半径与所述上电极(200)半径相等的上圆盘和一体成型且同轴设置的半径大于所述上电极(200)的下圆盘组成，所述冷却盘(100)上设置有多个与所述螺纹盲孔(210)一一对应的螺纹通孔(110)，所述上电极(200)和所述冷却盘(100)通过旋入所述螺纹盲孔(210)和所述螺纹通孔(110)的固定螺丝(120)固定连接，所述下圆盘下端沿周向设有至少两个定位孔(130)，其特征在于，包括操作台，所述操作台的上端设置有至少两个与所述定位孔(130)一一对应的操作台定位销(310)，所述操作台定位销(310)插入其对应的所述定位孔(130)中，以将所述冷却盘(100)固定在所述操作台上，所述操作台上沿周向开有多个与所述螺纹通孔(110)一一对应的通孔(320)，当所述上电极(200)安装到冷却盘(100)上后，通过所述通孔(320)将固定螺丝(120)将安装到所述螺纹盲孔(210)和所述螺纹通孔(110)中。
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