[实用新型]基板镀膜装夹工具有效
| 申请号： | 201720690525.1 | 申请日： | 2017-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN206872941U | 公开（公告）日： | 2018-01-12 |
| 发明（设计）人： | 朱子寰;李亚明;朱廷;黎凤燕;钟义顺;石博平 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫液晶材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 210033 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基板镀膜装夹工具，其结构包括外框、内框、弹簧夹、导柱；其中，弹簧夹处在内框上，内框与外框之间通过导柱连接；导柱的长度大于内框的厚度，内框的两侧装有缓冲材料。本实用新型的优点1）对基板在真空镀膜工程中的震动起到缓冲减震的作用，从而避免基板边缘接触面压力过大而产生摩擦破损，并减小弯曲时表面的拉应力；2）降低了真空镀膜工序的破片不良率；3）为真空镀膜设备实现更快的生产节奏提供保障；4）避免了基板边缘摩擦受损，提高了产品的弯曲强度。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 工具 | ||
【主权项】：
基板镀膜装夹工具，其特征是包括外框、内框、弹簧夹、导柱；其中，弹簧夹处在内框上，内框与外框之间通过导柱连接；导柱的长度大于内框的厚度，内框的两侧装有缓冲材料。
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