[实用新型]一种针对复杂气体光谱分析的多气室结构

摘要

本实用新型提供了一种针对复杂气体光谱分析的多气室结构，包括气室组件以及位于气室组件一侧与气室组件间隔设置的制冷基板，气室组件包括上下层叠设置的一个测量气室和多个参考气室，制冷基板上设有一激光器，测量气室与制冷基板相对的侧壁上以及每一参考气室与制冷基板相对的侧壁上均设有通光口，制冷基板与气室组件之间设有分光装置，测量气室和参考气室内均设有用于将入射到气室内的激光从通光口反射出去的反光装置，制冷基板上还设有与测量气室和各参考气室一一对应的多个光电探测器，制冷基板与气室组件之间还设有聚光装置。本实用新型可以有效消除激光器波长漂移和温度变化对测量结果造成的影响，实时保证测量结果的准确性。

主权项

一种针对复杂气体光谱分析的多气室结构，其特征在于：包括气室组件以及位于气室组件一侧与气室组件间隔设置的制冷基板，所述气室组件包括上下层叠设置的一个测量气室和多个参考气室，所述制冷基板上设有一激光器，所述测量气室与所述制冷基板相对的侧壁上以及每一所述参考气室与所述制冷基板相对的侧壁上均设有通光口，所述制冷基板与所述气室组件之间设有用于将激光器发出的激光引导至各个所述通光口的分光装置，所述测量气室和所述参考气室内均设有用于将入射到气室内的激光从所述通光口反射出去的反光装置，所述制冷基板上还设有与所述测量气室以及各所述参考气室一一对应的多个光电探测器，所述制冷基板与所述气室组件之间还设有用于将从各个所述通光口反射出来的激光汇聚到对应的所述光电探测器的聚光装置。