[实用新型]在线同轴测温、功率检测以及同轴成像的激光聚焦系统

摘要

本实用新型涉及一种在线同轴测温、功率检测以及同轴成像的激光聚焦系统。本系统包括激光系统、CCD成像系统、测温系统、功率反馈系统等四个光路的光学系统。本实用新型采用多波长分光镜使激光、CCD成像光信号、温度光信号光路实现同轴传输。该系统具有设计合理、构思新颖、工艺规范、结构紧凑、方便调节、适宜工业化批量生产，可广泛应用于电子焊接、胶水固化等领域。

主权项

1.一种在线同轴测温、功率检测以及同轴成像的激光聚焦系统，由CCD成像光路系统、温度探测光路系统、功率反馈系统和激光聚焦系统构成，其特征在于：准直系统(23)由多个镜片组组成；准直系统(23)和第一聚焦镜(22)沿激光光路光轴(24)构成激光聚焦系统；调节镜(20)、第一聚焦镜(22)、照明系统(11)、第一多波长分光镜(9)和第二多波长分光镜(10)沿CCD成像光路光轴(21)构成CCD成像系统，将加工点(17)的图像成像于CCD(5)接收平面，多波长分光镜(10)实现激光与可见光同轴传播；第二聚焦镜(3)、第一多波长分光镜(9)和第二多波长分光镜(10)、第一聚焦镜(22)沿探温光路光轴(18)构成温度探测系统，将温度的光信号采集到温度探测器(1)上，多波长分光镜(9)实现不同波长光信号的分光比不同。