[实用新型]在线同轴测温、功率检测以及同轴成像的激光聚焦系统

权利要求书

1.一种在线同轴测温、功率检测以及同轴成像的激光聚焦系统，由CCD成像光路系统、温度探测光路系统、功率反馈系统和激光聚焦系统构成，其特征在于：准直系统(23)由多个镜片组组成；准直系统(23)和第一聚焦镜(22)沿激光光路光轴(24)构成激光聚焦系统；调节镜(20)、第一聚焦镜(22)、照明系统(11)、第一多波长分光镜(9)和第二多波长分光镜(10)沿CCD成像光路光轴(21)构成CCD成像系统，将加工点(17)的图像成像于CCD(5)接收平面，多波长分光镜(10)实现激光与可见光同轴传播；第二聚焦镜(3)、第一多波长分光镜(9)和第二多波长分光镜(10)、第一聚焦镜(22)沿探温光路光轴(18)构成温度探测系统，将温度的光信号采集到温度探测器(1)上，多波长分光镜(9)实现不同波长光信号的分光比不同。

2.根据权利要求1所述的在线同轴测温、功率检测以及同轴成像的激光聚焦系统，其特征是，第二多波长分光镜(10)位于激光光路光轴(24)和CCD成像光路光轴(21)上，实现激光和可见光的同轴传输。

3.根据权利要求1所述的在线同轴测温、功率检测以及同轴成像的激光聚焦系统，其特征是，第二多波长分光镜(10)位于激光光路光轴(24)、CCD成像光路光轴(21)和温度探测光路光轴(18)上，实现激光、可见光和温度光信号的同轴传输。

4.根据权利要求1所述的在线同轴测温、功率检测以及同轴成像的激光聚焦系统，其特征是，所有光学透镜，包括第二聚焦镜(3)、第三聚焦镜(4)、调节镜(20)、第一聚焦镜(22)、准直系统(23)是单透镜，或者是组合透镜，或多个透镜系统组成的等效透镜。

5.根据权利要求1所述的在线同轴测温、功率检测以及同轴成像的激光聚焦系统，其特征是，第一聚焦镜(22)的材料必须是同时能透过可见光、近红外和中红外的材料。

6.根据权利要求1所述的在线同轴测温、功率检测以及同轴成像的激光聚焦系统，其特征是，第一多波长分光镜(9)、第二多波长分光镜(10)镀多层膜，对激光，温度光信号以及成像光信号的分光能力不同。

7.根据权利要求1所述的在线同轴测温、功率检测以及同轴成像的激光聚焦系统，其特征是，温度光信号、激光、CCD成像信号在聚焦镜(22)前为共轴系统；合束方式是温度光信号和激光的合束、或者是温度光信号和CCD成像信号的合束、或者是CCD成像信号和激光的合束、或者是温度光信号、激光和CCD成像信号的合束。

8.根据权利要求1所述的在线同轴测温、功率检测以及同轴成像的激光聚焦系统，其特征是，在一定的工作距离上，激光斑点的大小通过调节组成激光准直系统(23)的全部或部分透镜和光纤(12)端面的相对距离来实现。

9.根据权利要求1所述的在线同轴测温、功率检测以及同轴成像的激光聚焦系统，其特征是，所述温度光信号为中红外波段。