[实用新型]导气装置、真空腔和真空等离子体设备有效
| 申请号： | 201720539579.8 | 申请日： | 2017-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN206948695U | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 季文竹;彭帆 | 申请（专利权）人： | 上海稷以科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙)31291 | 代理人： | 侯莉 |
| 地址： | 200241 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空等离子体设备领域，公开了一种导气装置、真空腔和真空等离子体设备，导气装置包括导气杆，导气杆设置于真空等离子体设备的真空腔内，导气杆的外壳围合形成中空腔体，端部设置有气体入口，外壳上还开有若干个导气孔；气体入口与真空腔的进气孔相连通；气体经进气孔和气体入口进入中空腔体内，通过导气孔进入真空腔，再从真空腔的抽气口中流出。在真空腔内设置该导气装置能够改进真空腔的气体均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 空腔 真空 等离子体 设备 | ||
【主权项】：
一种导气装置，包括导气杆(4)，所述导气杆(4)设置于真空等离子体设备的真空腔(1)内，其特征在于：所述导气杆(4)的外壳围合形成中空腔体，端部设置有气体入口(3)，所述外壳上还开有若干个导气孔(4a)；所述气体入口(3)与所述真空腔(1)的进气孔(2)相连通；气体经所述进气孔(2)和所述气体入口(3)进入所述中空腔体内，通过所述导气孔(4a)进入所述真空腔(1)，再从所述真空腔(1)的抽气口(5)中流出。
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