[实用新型]光学监控系统多窗口装置有效
| 申请号： | 201720335790.8 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN206706200U | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 王静辉;郑燕飞;邓琪 | 申请（专利权）人： | 王静辉;郑燕飞;邓琪 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52;C23C14/54;C23C16/52 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市平*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及到膜修复技术领域，尤其涉及光学监控系统多窗口装置。该光学监控系统多窗口装置，包括OMS光源入射窗口、真空室腔体真空室门和OMS光源接收窗口。本实用新型所涉及的光学监控系统多窗口装置应用于多光路光学监控系统可同时对基板多个半径进行监控，且在镀膜过程中可根据各半径点光信号强弱分析膜厚均匀性，最终通过OMS对各半径点的膜厚均匀性进行实时修正与控制。大大提高了光学监控精度和膜厚的均匀性。此光学监控系统（OMS）多窗口装置的应用使光学监控精度提高一个数量级，镀膜良率提高2‑3倍，该光学监控系统多窗口装置结构设计合理，使用安装方便、稳定，适合推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 监控 系统 窗口 装置 | ||
【主权项】：
光学监控系统多窗口装置，包括OMS光源入射窗口（1）、真空室腔体（2）真空室门（3）和OMS光源接收窗口（4），其特征在于：所述真空室腔体（2）的一端设有OMS光源入射窗口（1），所述真空室腔体（2）的另一端设有真空室门（3），所述真空室门（3）上设有OMS光源接收窗口（4），所述OMS光源入射窗口（1）和OMS光源接收窗口（4）在同一条直线上，所述OMS光源入射窗口（1）和OMS光源接收窗口（4）的个数分别为两个。
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