[实用新型]一种电离效果稳定的射频离子源中和器有效
| 申请号： | 201720287325.1 | 申请日： | 2017-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN206834151U | 公开（公告）日： | 2018-01-02 |
| 发明（设计）人： | 刘伟基;冀鸣;陈蓓丽 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30;H01J37/08;H01J37/317;H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司44214 | 代理人： | 吝秀梅,李彦孚 |
| 地址： | 528437 广东省中山市火炬*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种电离效果稳定的射频离子源中和器，包括射频电源、射频感抗匹配网络、起辉维持极、外罩体、射频线圈、绝缘电离腔体及正离子收集极；射频电源通过射频感抗匹配网络与射频线圈连接；射频线圈螺旋设于绝缘电离腔体的外侧壁，外罩体套设于射频线圈的外侧；绝缘电离腔体罩设于正离子收集极且与正离子收集极围合形成绝缘电离腔室；绝缘电离腔体开设有发射孔，起辉维持极开设有与发射孔对应的第一通孔；正离子收集极开设有用于通入惰性气体的进气通道，以及连通进气通道和绝缘电离腔室之间的惰性气体供气孔。本实用新型的射频线圈不随工作时长而变形，保证中和器电离效果的稳定性，且射频线圈的氧化效果得到有效抑制，提高射频线圈使用寿命的同时保证电离效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电离 效果 稳定 射频 离子源 中和 | ||
【主权项】：
一种电离效果稳定的射频离子源中和器，其特征在于，包括射频电源、射频感抗匹配网络、起辉维持极(110)、外罩体(170)、射频线圈(130)、绝缘电离腔体(140)及正离子收集极(150)；射频电源通过射频感抗匹配网络与射频线圈(130)连接；射频线圈(130)螺旋设于绝缘电离腔体(140)的外侧壁，外罩体(170)套设于射频线圈(130)的外侧，外罩体(170)无顶部及底部；绝缘电离腔体(140)罩设于正离子收集极(150)且与正离子收集极(150)围合形成绝缘电离腔室；绝缘电离腔体(140)开设有发射孔(180)，起辉维持极(110)开设有与发射孔(180)对应的第一通孔(190)；正离子收集极(150)开设有用于通入惰性气体的进气通道(200)，以及连通进气通道(200)和绝缘电离腔室之间的惰性气体供气孔(160)；起辉维持极(110)用于维持中和器内部的电离状态。
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