[实用新型]固态势垒接触式恒力反馈超稳定扫描隧道谱测试仪有效
| 申请号： | 201720232831.0 | 申请日： | 2017-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN206649053U | 公开（公告）日： | 2017-11-17 |
| 发明（设计）人： | 李全锋;董玉静 | 申请（专利权）人： | 河南师范大学 |
| 主分类号： | G01Q60/10 | 分类号： | G01Q60/10;G01Q60/14 |
| 代理公司： | 新乡市平原专利有限责任公司41107 | 代理人： | 于兆惠 |
| 地址： | 453007 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种固态势垒接触式恒力反馈超稳定扫描隧道谱测试仪，属于扫描隧道谱测试装置技术领域。本实用新型的技术方案要点为固态势垒接触式恒力反馈超稳定扫描隧道谱测试仪，导电针尖与待测样品之间设置有固态势垒，且针尖与固态势垒与待测样品之间为力接触状态，导电针尖的另一端固定于力感应器上，力感应器的信号输出端通过比较放大器与PID控制器的输入端相连，PID控制器的输出端与样品台或/和探针台的驱动模块相连，用于维持力感应器的输出信号恒定，待测样品和导电针尖的电极均连接到STS测试模块，用于在恒力反馈模式下实现对待测样品的扫描隧道谱测试。本实用新型得到的扫描隧道谱稳定性高、可重复性高且数据精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 固态 接触 恒力 反馈 稳定 扫描 隧道 测试仪 | ||
【主权项】：
固态势垒接触式恒力反馈超稳定扫描隧道谱测试仪，包括扫描隧道显微镜系统、待测样品、PID控制器和扫描隧道谱测试模块，其特征在于：导电针尖与待测样品之间设置有固态势垒，且针尖与固态势垒与待测样品之间为力接触状态，导电针尖的另一端固定于力感应器上，力感应器的信号输出端通过比较放大器与PID控制器的输入端相连，PID控制器的输出端与样品台或/和探针台的驱动模块相连，用于维持力感应器的输出信号恒定，待测样品和导电针尖的电极均连接到扫描隧道谱测试模块，用于在恒力反馈模式下实现对待测样品的扫描隧道谱测试。
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