[实用新型]固态势垒接触式恒力反馈超稳定扫描隧道谱测试仪

权利要求书

1.固态势垒接触式恒力反馈超稳定扫描隧道谱测试仪，包括扫描隧道显微镜系统、待测样品、PID控制器和扫描隧道谱测试模块，其特征在于：导电针尖与待测样品之间设置有固态势垒，且针尖与固态势垒与待测样品之间为力接触状态，导电针尖的另一端固定于力感应器上，力感应器的信号输出端通过比较放大器与PID控制器的输入端相连，PID控制器的输出端与样品台或/和探针台的驱动模块相连，用于维持力感应器的输出信号恒定，待测样品和导电针尖的电极均连接到扫描隧道谱测试模块，用于在恒力反馈模式下实现对待测样品的扫描隧道谱测试。

2.根据权利要求1所述的固态势垒接触式恒力反馈超稳定扫描隧道谱测试仪，其特征在于：所述的力感应器为压阻式导电针体、压电式导电针体或光反射式导电针体。

3.根据权利要求1所述的固态势垒接触式恒力反馈超稳定扫描隧道谱测试仪，其特征在于：所述的力感应器为压阻式导电针体时对应的比较放大器为电桥放大器；所述的力感应器为压电式导电针体时对应的比较放大器为电压放大器；所述的力感应器为光反射式导电针体时对应的比较放大器为光电探测器。

4.根据权利要求1所述的固态势垒接触式恒力反馈超稳定扫描隧道谱测试仪，其特征在于：所述的固态势垒设置在导电针尖上或/和待测样品上或者为导电针尖与待测样品形成的界面。

5.根据权利要求1-3中任意一项所述的固态势垒接触式恒力反馈超稳定扫描隧道谱测试仪，其特征在于：所述的力感应器中导电针体的结构为弹性体结构。

6.根据权利要求5所述的固态势垒接触式恒力反馈超稳定扫描隧道谱测试仪，其特征在于：所述的弹性体结构为微悬臂梁结构、之字形弹簧结构或螺旋弹簧结构。

7.根据权利要求1所述的固态势垒接触式恒力反馈超稳定扫描隧道谱测试仪，其特征在于：所述的固态势垒材质为电介质。

8.根据权利要求7所述的固态势垒接触式恒力反馈超稳定扫描隧道谱测试仪，其特征在于：所述的电介质为二氧化硅、氮化硅、蓝宝石或金刚石。