[实用新型]一种单晶硅棒线开方机工作台夹紧装置

摘要

本实用新型涉及直拉硅单晶棒的开方设备，旨在提供一种单晶硅棒线开方机工作台夹紧装置。该种单晶硅棒线开方机工作台夹紧装置包括工作台头座、工作台尾座、气缸安装座、气缸、支架、导向衬套，用于安装晶棒。使用本实用新型极大地降低了硅棒安装和拆取所需时间，同心精度高，避免了粘胶对晶棒产生的污染，提高了生产效率和良品率。

主权项

一种单晶硅棒线开方机工作台夹紧装置，用于安装晶棒，其特征在于，所述单晶硅棒线开方机工作台夹紧装置包括工作台头座、工作台尾座、气缸安装座、气缸、支架、导向衬套；所述支架为“7”字型支架，支架的下端安装在单晶硅棒线开方机的开方机底座上，支架上端横杆的中部打有通孔；所述气缸安装座为筒形安装座，气缸安装座安装在支架上端横杆的中部通孔中，气缸安装在气缸安装座的上端，导向衬套安装在气缸安装座的下端；所述工作台尾座包括尾座浮动接头、尾座连接轴；所述尾座连接轴安装在导向衬套的孔内，用于增强工作台尾座刚度；尾座连接轴的上端能通过导向衬套和气缸的活塞杆连接，尾座连接轴的下端与尾座浮动接头连接，并保证工作台尾座和气缸同心连接；尾座浮动接头能在气缸的驱动下压紧晶棒上端面，实现对晶棒的固定；所述工作台头座通过法兰安装在开方机底座上，工作台头座包括电机、联轴器、头座连接轴、万向夹头、晶托；所述头座连接轴的下端通过联轴器与电机连接，头座连接轴的上端通过万向夹头连接晶托，使头座连接轴能在电机的驱动下旋转，进而带动晶托旋转；所述工作台头座、工作台尾座与晶棒沿晶棒长度方向同心安装。