[实用新型]一种全自动单晶硅磨面倒圆一体机加工设备

摘要

本实用新型涉及单晶硅棒的加工，旨在提供一种全自动单晶硅磨面倒圆一体机加工设备。该种全自动单晶硅磨面倒圆一体机加工设备包括底架、切磨工作台、对中装置、粗磨动力头、精磨动力头、尺寸检测单元。本实用新型使晶棒的磨面倒圆加工在一台设备中全自动进行，无需在不同设备间转运，可有效缩短晶棒流转的流程；同时，磨削动力头采用对称布局，同时进行双面加工，成倍提高加工效率。

主权项

一种全自动单晶硅磨面倒圆一体机加工设备，包括底架、切磨工作台、对中装置、粗磨动力头、精磨动力头、尺寸检测单元；底架中间设有一根大丝杆，大丝杆两侧各平行安装有一条大导轨，切磨工作台安装在大导轨上，且底架上还安装有伺服电机，伺服电机能驱动大丝杆、丝杆螺母，使切磨工作台沿着大导轨上进行左右移动；底架的左右两侧分别为晶棒上料对中工作区域和晶棒磨削加工工作区域，两个区域的分界点为晶棒尺寸检测处；切磨工作台上安装有两条平行的小导轨，小导轨上方安装有尾座和头座，头座固定在小导轨的一端不动，头座的下面安装有气缸，气缸能驱动尾座沿着小导轨左右移动，且头座和尾座的回转中心位于同一高度；头座面向尾座的一端设有对刀传感器和基准块，用于在晶棒加工前作为测量基准；对刀传感器和基准块的旁边还安装有水气两用喷水装置，水气两用喷水装置包括基准块清洗喷头座和至少两个清洗喷头，能使水和气分别从不同的清洗喷头喷出，用于保证对刀传感器和基准块的表面清洁；头座的另一端设有行星减速机和分度电机，分度电机能通过精度分度控制硅块旋转并停止于所需的角度位置；底架的晶棒上料对中工作区域一侧设有对中装置，对中装置包括V型定位块、V型块水平移动安装座、水平直线导轨、水平滚珠丝杆、水平伺服电机、竖直直线导轨、竖直滚珠丝杆、竖直伺服电机；所述水平直线导轨水平安装在底架的晶棒上料对中工作区域一侧，V型块水平移动安装座安装在水平直线导轨上，通过水平滚珠丝杆、水平伺服电机驱动，V型块水平移动安装座能沿着水平直线导轨作前后移动；所述竖直直线导轨竖直安装在V型块水平移动安装座上，V型定位块安装在竖直直线导轨上，通过竖直滚珠丝杆、竖直伺服电机驱动，V型定位块能沿着竖直直线导轨作上下移动；底架的晶棒磨削加工工作区域的两侧各设有一个延伸平台，延伸平台用于安装磨削动力头组件；所述磨削动力头组件包括两个粗磨动力头组件和两个精磨动力头组件，即在两侧延伸平台上各安装一组精磨动力头组件和一组粗磨动力头组件；所述粗磨动力头组件包括粗磨动力头、粗磨变频电机、粗磨动力头固定座、粗磨进给组件、粗磨砂轮安装座和粗磨砂轮；所述粗磨进给组件安装在延伸平台上，通过丝杠螺母副、导轨滑块副与粗磨动力头固定座相连，用于驱动粗磨动力头实现前后进给移动；所述粗磨动力头的一头安装粗磨变频电机，另一头安装粗磨砂轮安装座，粗磨砂轮安装座上安装粗磨砂轮；所述粗磨变频电机通过联轴器与粗磨动力头内部主轴联接，用于驱动粗磨砂轮进行旋转；所述精磨动力头组件包括精磨动力头、精磨变频电机、精磨动力头固定座、精磨进给组件、精磨砂轮安装座和精磨砂轮；所述精磨进给组件安装在延伸平台上，通过丝杠螺母副、导轨滑块副与精磨动力头固定座相连，用于驱动精磨动力头实现前后进给移动；所述精磨动力头的一头安装精磨变频电机，另一头安装精磨砂轮安装座，精磨砂轮安装座上安装精磨砂轮；所述精磨变频电机通过联轴器与精磨动力头内部主轴联接，用于驱动精磨砂轮进行旋转；所述尺寸检测单元包括底座、驱动电机、直线运动单元、支撑座、支撑臂和接触式传感器，安装在底架的晶棒尺寸检测处；所述底座安装在底架上，所述驱动电机和直线运动单元安装在底座上，且驱动电机与直线运动单元相连；所述支撑座上设有支撑臂，接触式传感器通过支撑臂安装在支撑座上，支撑座安装在直线运动单元上；驱动电机能驱动支撑座在直线运动单元上移动，用于带动接触式传感器进行尺寸检测。