[实用新型]氯硅烷分析废气回收处理装置

摘要

本实用新型公开了一种氯硅烷分析废气回收处理装置，所述装置包括依次密封连接的冷凝回收装置、醇解反应吸收装置和碱液吸收装置；冷凝回收装置，对氯硅烷分析废气进行物理冷凝回收；醇解反应吸收装置，通过醇与氯硅烷的反应吸收剩余的氯硅烷气体；碱液吸收装置，醇解反应产生的氯化氢气体和极微量未反应的氯硅烷气体通过碱液吸收。本实用新型装置简单、安装方便、容易操作，对氯硅烷分析废气的回收高效，具有安全、环保和清洁的特点，适于推广应用。

主权项

氯硅烷分析废气回收处理装置，与氯硅烷加热蒸发装置连接，其特征在于包括依次密封连接的冷凝回收装置、醇解反应吸收装置和碱液吸收装置，冷凝回收装置进口端连接氯硅烷加热蒸发装置出口端，冷凝回收装置出口端连接醇解反应吸收装置进口端，醇解反应吸收装置出口端连接碱液吸收装置进口端，每个进口端连接管插入对应装置底部，每个出口端连接管位于装置顶部，所述冷凝回收装置用于对氯硅烷分析废气进行物理冷凝，回收大部分的氯硅烷气体；醇解反应吸收装置用于通过醇与氯硅烷的反应吸收剩余的氯硅烷气体；碱液吸收装置用于将醇解反应产生的氯化氢气体和极微量未反应的氯硅烷气体通过碱液吸收。