[实用新型]氯硅烷分析废气回收处理装置

权利要求书

1.氯硅烷分析废气回收处理装置，与氯硅烷加热蒸发装置连接，其特征在于包括依次密封连接的冷凝回收装置、醇解反应吸收装置和碱液吸收装置，冷凝回收装置进口端连接氯硅烷加热蒸发装置出口端，冷凝回收装置出口端连接醇解反应吸收装置进口端，醇解反应吸收装置出口端连接碱液吸收装置进口端，每个进口端连接管插入对应装置底部，每个出口端连接管位于装置顶部，所述冷凝回收装置用于对氯硅烷分析废气进行物理冷凝，回收大部分的氯硅烷气体；醇解反应吸收装置用于通过醇与氯硅烷的反应吸收剩余的氯硅烷气体；碱液吸收装置用于将醇解反应产生的氯化氢气体和极微量未反应的氯硅烷气体通过碱液吸收。

2.根据权利要求1所述的氯硅烷分析废气回收处理装置，其特征在于冷凝回收装置包括废液回收容器（5）和置于废液回收容器（5）外部的冷凝液槽（6）。

3.根据权利要求1所述的氯硅烷分析废气回收处理装置，其特征在于冷凝回收装置与氯硅烷分析废气装置之间设置一套冷凝管（4）或连接软管（9）。

4.根据权利要求1所述的氯硅烷分析废气回收处理装置，其特征在于醇解反应吸收装置包括装有醇类液体的醇类吸收容器（7）。

5.根据权利要求1所述的氯硅烷分析废气回收处理装置，其特征在于碱液吸收装置包括装有碱液的碱液吸收容器（8）。

6.根据权利要求1所述的氯硅烷分析废气回收处理装置，其特征在于氯硅烷加热蒸发装置包括氯硅烷样品瓶（2）和用于加热氯硅烷样品瓶（2）的加热器（3），氯硅烷样品瓶（2）上设有惰性气体接入口（1），惰性气体通过惰性气体接入口（1）进入氯硅烷样品瓶（2）底部。