[实用新型]一种真空涂层设备的冷却系统有效
| 申请号： | 201720134135.6 | 申请日： | 2017-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN206459410U | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 张建明;金章斌;邓晓良 | 申请（专利权）人： | 苏州吉恒纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | F25D17/02 | 分类号： | F25D17/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空涂层设备的冷却系统，包括板式热交换器、三通自动切换阀和水加热器，板式热交换器连接冷却水进水管和冷却水回水管，三通自动切换阀的第一接口与板式热交换器的左端连接，三通自动切换阀的第二接口与板式热交换器的右端连接，三通自动切换阀的第三接口与水加热器连接，水加热器的出水端所连接的冷却水管路上又连接有温度表和水压表，水压表之后的冷却水管路连接真空涂层设备的阴极部、离子室和腔室。离子室和腔室之后的冷却水管路上连接有增压水泵，增压水泵之后的冷却水管路与板式热交换器的右端连接。本实用新型可以优化冷却系统，从而节约工艺时间，提高生产效率，控制冷凝水的产生，杜绝电气隐患，保证设备安全。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 涂层 设备 冷却系统 | ||
【主权项】：
一种真空涂层设备的冷却系统，其特征在于：包括板式热交换器、三通自动切换阀和水加热器，所述板式热交换器连接冷却水进水管和冷却水回水管，所述三通自动切换阀具有第一接口、第二接口和第三接口，所述三通自动切换阀的第一接口与板式热交换器的左端连接，三通自动切换阀的第二接口与板式热交换器的右端连接，三通自动切换阀的第三接口与水加热器连接，水加热器的出水端所连接的冷却水管路上又连接有温度表和水压表，水压表之后的冷却水管路连接真空涂层设备的阴极部、离子室和腔室，真空涂层设备的离子室和腔室之后的冷却水管路上连接有增压水泵，增压水泵之后的冷却水管路最终与板式热交换器的右端连接。
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