[实用新型]带有抽真空系统的平板式PECVD进料腔

摘要

本实用新型涉及晶硅太阳能电池生产设备，旨在提供一种带有抽真空系统的平板式PECVD进料腔。该进料腔呈中空状，在底部设有多条气道，各气道的一端在进料腔底部中央交汇互通形成中心出口；各气道的另一端则均匀分布在进料腔底部的四周，且仅在该端部设置连接进料腔的气道入口；所述中心出口通过真空管道连接至真空泵，在中心出口与真空管道相接处设过滤网。本实用新型能缩短抽真空时间提高生产效率；提高真空室气流的稳定性，使镀膜的条件更加理想化，提高膜的质量。能够对各种渣粒粉尘进行充分拦截，保护真空泵免受伤害，从而防止真空泵卡死，延长了真空泵的使用寿命。在结构上的改动不大，设计合理，使用效果良好，非常实用。

主权项

一种带有抽真空系统的平板式PECVD进料腔，该进料腔呈中空状；其特征在于，在进料腔的底部设有多条气道，各气道的一端在进料腔底部中央交汇互通形成中心出口；各气道的另一端则均匀分布在进料腔底部的四周，且仅在该端部设置连接进料腔的气道入口；所述中心出口通过真空管道连接至真空泵，在中心出口与真空管道相接处设过滤网。