[实用新型]多功能曝光平台有效
| 申请号： | 201720028198.3 | 申请日： | 2017-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN206470537U | 公开（公告）日： | 2017-09-05 |
| 发明（设计）人： | 戴童庆;代毓平 | 申请（专利权）人： | 深圳市大川光电设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种多功能曝光平台，包括控制单元以及依次相接设置的滚轮上料机构、平台主体与滚轮下料机构，平台主体的上方设有导向推板机构，导向推板机构包括开口方向面向滚轮上料机构所在一侧的L型导向推板以及驱动L型导向推板在平台主体上方分别沿X轴方向及Y轴方向平移的XY平面运动机构，L型导向推板包括相互垂直设置的X轴方向推板及Y轴方向推板，X轴方向推板面向滚轮上料机构的一侧设有到位检测结构，平台主体包括气浮吸附一体平面，且平台主体的底侧设有若干升降支脚，控制单元分别与XY平面运动机构、到位检测结构以及若干升降支脚电性连接，X轴方向平行于滚轮上料结构的送料方向，Y轴方向垂直于滚轮上料结构的送料方向。 | ||
| 搜索关键词： | 多功能 曝光 平台 | ||
【主权项】：
一种多功能曝光平台，其特征在于，包括控制单元以及依次相接设置的滚轮上料机构、平台主体与滚轮下料机构，所述平台主体的上方设有导向推板机构，所述导向推板机构包括开口方向面向所述滚轮上料机构所在一侧的L型导向推板以及驱动所述L型导向推板在所述平台主体上方分别沿X轴方向及Y轴方向平移的XY平面运动机构，所述L型导向推板包括相互垂直设置的X轴方向推板及Y轴方向推板，所述X轴方向推板面向所述滚轮上料机构的一侧设有到位检测结构，所述平台主体包括气浮吸附一体平面，且所述平台主体的底侧设有若干升降支脚，所述控制单元分别与所述XY平面运动机构、所述到位检测结构以及所述若干升降支脚电性连接，所述X轴方向平行于所述滚轮上料结构的送料方向，所述Y轴方向垂直于所述滚轮上料结构的送料方向。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市大川光电设备有限公司，未经深圳市大川光电设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720028198.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
