[发明专利]一种卡托表面绝缘纳米级镀层的制备方法在审
| 申请号： | 201711476421.1 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108286037A | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 石明祥;张国增;史广星 | 申请（专利权）人： | 昆山米泰克精密电子组件有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种卡托表面绝缘纳米级镀层的制备方法，其包括以下步骤，1)对卡托表面进行去油、清洗处理，检验合格后进入下一步；2)将卡托挂在挂具架上并置于真空室内；3)采用等离子多弧沉积装置，选择金属Cr或者金属Ti作为靶材，在卡托表面沉积一金属镀层；4)采用等离子多弧沉积装置，选择C、Cr作为靶材，在所述金属镀层表面再沉积一CrC膜层作为表层，其中所述CrC膜层中C的比例大于95.5％；5)将卡托从真空室取出，检验合格后即可。本发明其制作的真空镀层具有高硬度、高耐磨性、耐腐蚀性和稳定的化学性能，而且还具有绝缘作用。 | ||
| 搜索关键词： | 卡托 纳米级镀层 表面绝缘 多弧沉积 等离子 靶材 膜层 制备 金属镀层表面 金属 表面沉积 高耐磨性 化学性能 金属镀层 绝缘作用 耐腐蚀性 清洗处理 真空镀层 高硬度 再沉积 真空室 挂具 去油 检验 取出 室内 制作 | ||
【主权项】：
1.一种卡托表面绝缘纳米级镀层的制备方法，其特征在于：其包括以下步骤，1)对卡托表面进行去油、清洗处理，检验合格后进入下一步；2)将卡托挂在挂具架上并置于真空室内；3)采用等离子多弧沉积装置，选择金属Cr或者金属Ti作为靶材，通过导入电压，正极与所述真空室内壁连通，负极与卡托连通，在卡托表面沉积一金属镀层；4)采用等离子多弧沉积装置，选择C、Cr作为靶材，通过导入电压，正极与所述真空室内壁连通，负极与卡托连通，往所述真空室内通入氩气，利用高压电源让氩离子轰击C靶材和Cr靶材表面，在所述金属镀层表面再沉积一CrC膜层作为表层，其中所述CrC膜层中C的比例大于95.5％；5)将卡托从真空室取出，检验合格后即可。
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