[发明专利]一种利用回收的硅溶胶抛光液制备硅酸的方法有效

专利信息
申请号: 201711445044.5 申请日: 2017-12-27
公开(公告)号: CN108002393B 公开(公告)日: 2021-07-13
发明(设计)人: 秦飞;刘卫丽;宋志棠 申请(专利权)人: 上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所
主分类号: C01B33/12 分类号: C01B33/12
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 严晨;许亦琳
地址: 201506 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及抛光液后处理领域,特别是涉及一种利用回收的硅溶胶抛光液制备硅酸的方法。本发明提供一种利用回收的硅溶胶抛光液制备硅酸的方法,包括:将回收的硅溶胶抛光液浓缩;采用碱液将浓缩液溶解;将溶解液稀释、过滤;将所得液体进行阳离子树脂交换处理;将所得交换液进行阴离子树脂交换处理;将所得交换液进行阳离子树脂交换处理,获得硅酸。本发明所提供的制备硅酸的方法制备获得的硅酸可以重新用于硅溶胶的生产,有效地实现了废料的循环再利用,降低了抛光液厂家的废液处理成本,很大程度上解决了目前处理废液成本高、资源浪费等问题。
搜索关键词: 一种 利用 回收 硅溶胶 抛光 制备 硅酸 方法
【主权项】:
1.一种利用回收的硅溶胶抛光液制备硅酸的方法,包括:1)将回收的硅溶胶抛光液浓缩;2)采用碱液将浓缩液溶解;3)将溶解液稀释、过滤;4)将所得液体进行阳离子树脂交换处理;5)将所得交换液进行阴离子树脂交换处理;6)将所得交换液进行阳离子树脂交换处理,获得硅酸。
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