[发明专利]一种硅片校正机构

摘要

本发明公开了一种硅片校正机构，包括运载装置底座，所述运载装置底座的顶部设置有运输块，所述运载侧板之间设置有硅片，所述硅片的底部卡接在运输块顶部的卡槽内部，所述硅片的侧边卡在运载侧板之间，所述硅片倾斜卡接在运输块顶部的卡槽内部，倾斜角度与运载侧板的倾斜角度相同，所述硅片的一侧设置有吸片机构，所述吸片机构的吸板倾斜安装，倾斜角度与硅片的倾斜角度相同，所述吸片机构面对硅片的一面安装有吸头，所述吸片机构背对着硅片的一面安装有连接装置。本硅片校正机构，吸片机构因为其自身所带角度与硅片偏向的角度相近，所以吸片机构与硅片之间为面接触，从而降低了碎片率，本装置结构简单，有效解决了碎片率搞得问题。

主权项

一种硅片校正机构，包括运载装置底座（1），其特征在于：所述运载装置底座（1）的顶部设置有运输块（11），所述运输块（11）在运载装置底座（1）的顶部滑动，所述运输块（11）的一侧设置有运载侧板（2），所述运载侧板（2）倾斜安装在运载装置底座（1）的顶部两侧，所述运载侧板（2）成对对称安装在运载装置底座（1）的顶部两侧，所述运载侧板（2）之间设置有硅片（3），所述硅片（3）的底部卡接在运输块（11）顶部的卡槽内部，所述硅片（3）的侧边卡在运载侧板（2）之间，所述硅片（3）倾斜卡接在运输块（11）顶部的卡槽内部，倾斜角度与运载侧板（2）的倾斜角度相同，所述硅片（3）的一侧设置有吸片机构（4），所述吸片机构（4）的吸板倾斜安装，倾斜角度与硅片（3）的倾斜角度相同，所述吸片机构（4）面对硅片（3）的一面安装有吸头（41），所述吸片机构（4）背对着硅片（3）的一面安装有连接装置（42）。