[发明专利]一种氮化钼基梯度多元纳米多层涂层及制备方法

摘要

本发明公开了一种氮化钼基梯度多元纳米多层涂层及其制备方法，该涂层设于各种不同成分的基体上，其结构为A‑Mo/Mo_x1A_y1N_1‑x1‑y1/(Mo_x3Al_y3N_{(1‑x3‑y3)}/Mo_x4Al_y4Si_z4N_{(1‑x4‑y4‑z4)})_n，其中，A为基体所含的主要元素，0

主权项

1.一种氮化钼基梯度多元纳米多层涂层，该涂层设于基体表面，其特征在于，为由内向外依次由A‑Mo膜、Mo_x1A_y1N_1‑x1‑y1膜、若干层Mo_x3Al_y3N_{(1‑x3‑y3)}/Mo_x4Al_y4Si_z4N_{(1‑x4‑y4‑z4)}复合膜组成的结构为A‑Mo/Mo_x1A_y1N_1‑x1‑y1/(Mo_x3Al_y3N_{(1‑x3‑y3)}/Mo_x4Al_y4Si_z4N_{(1‑x4‑y4‑z4)})_n的纳米多层涂层，其中，A为基体所含的主要元素，0<x1,x3,x4,y1,y3,y4,z4<1，n为大于2的整数。