[发明专利]放射线敏感性组合物

摘要

本发明提供了一种放射线敏感性组合物，该放射线敏感性组合物含有环状化合物B和低分子量溶解促进剂D，低分子量溶解促进剂D的掺合量为使环状化合物B和低分子量溶解促进剂D的总和为固体成分的总量的50‑99.999重量％的量。本发明的放射线敏感性组合物具有高灵敏度、高分辨力、高耐蚀刻性、低逸气量、以及得到的抗蚀图形的形状良好的优点。

主权项

1.一种放射线敏感性组合物，其中，该放射线敏感性组合物含有下述式(19-1)所示环状化合物B和低分子量溶解促进剂D，低分子量溶解促进剂D的掺合量为使环状化合物B和低分子量溶解促进剂D的总和为固体成分的总量的50-99.999重量％的量，式(19-1)中，R1独立地为选自由碳原子数为1-20的烷基、碳原子数为3-20的环烷基、碳原子数为6-20的芳基、碳原子数为1-20的烷氧基、氰基、硝基、羟基、杂环基、卤素、羧基、碳原子数为1-20的烷基硅烷、以及它们的衍生物所组成的组中的官能团，或者为选自由取代甲基、1-取代乙基、1-取代正丙基、碳原子数为1-20的甲硅烷基、碳原子数为2-20的酰基、1-取代烷氧基烷基、碳原子数为2-20的环醚基、碳原子数为2-20的烷氧羰基以及烷氧羰基烷基所组成的组中的酸解离性官能团，或者为氢原子；R4为选自由碳原子数为1-20且不为叔丁基的烷基、碳原子数为3-20的环烷基、碳原子数为6-20的芳基、碳原子数为1-20的烷氧基、氰基、硝基、杂环基、卤素、羧基、碳原子数为1-20的烷基硅烷、以及它们的衍生物所组成的组中的官能团，或者为选自由取代甲基、1-取代乙基、1-取代正丙基、碳原子数为1-20的甲硅烷基、碳原子数为2-20的酰基、1-取代烷氧基烷基、碳原子数为2-20的环醚基、碳原子数为2-20的烷氧羰基以及烷氧羰基烷基所组成的组中的酸解离性官能团；p为0-5的整数；其中，所述取代甲基选自甲氧基甲基、甲硫基甲基、乙氧基甲基、正丙氧基甲基、异丙氧基甲基、正丁氧基甲基、叔丁氧基甲基、2-甲基丙氧基甲基、乙硫基甲基、甲氧基乙氧基甲基、苯氧基甲基、1-环戊氧基甲基、1-环己氧基甲基、苄基硫代甲基、苯甲酰甲基、4-溴苯甲酰甲基、4-甲氧基苯甲酰甲基、胡椒基以及下述式(7)所示的取代基，式(7)中，R2为碳原子数为1-4的烷基；所述1-取代乙基选自1-甲氧基乙基、1-甲硫基乙基、1,1-二甲氧基乙基、1-乙氧基乙基、1-乙硫基乙基、1,1-二乙氧基乙基、正丙氧基乙基、异丙氧基乙基、正丁氧基乙基、叔丁氧基乙基、2-甲基丙氧基乙基、1-苯氧基乙基、1-苯基硫代乙基、1,1-二苯氧基乙基、1-环戊氧基乙基、1-环己氧基乙基、1-苯基乙基、1,1-二苯基乙基以及下述式(8)所示的取代基，式(8)中，R2为碳原子数为1-4的烷基；所述1-取代正丙基选自1-甲氧基正丙基和1-乙氧基正丙基；所述1-取代烷氧基烷基选自1-环戊基甲氧基甲基、1-环戊基乙氧基甲基、1-环己基甲氧基甲基、1-环己基乙氧基甲基、1-环辛基甲氧基甲基以及1-金刚烷基甲氧基甲基。