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- [发明专利]放射线敏感性组合物-CN201410350098.3有效
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越后雅敏;小黑大
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三菱瓦斯化学株式会社
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2007-11-01
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2019-01-22
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G03F7/004
- 本发明提供了含有高灵敏度、高分辨力、高耐蚀刻性、低逸气量、以及得到的抗蚀图形的形状良好的抗蚀剂化合物的放射线敏感性组合物;以及使用该放射线敏感性组合物的抗蚀图形的形成方法;以及光学特性和耐蚀刻性良好的、而且实质上无升华物的用于形成新的光刻胶下层膜的组合物及由其形成的下层膜。该放射线敏感性组合物含有具有特定结构的环状化合物和溶剂,所述环状化合物为通过醛类化合物A1和酚类化合物A2的缩合反应而合成的分子量为700‑5000的环状化合物A,其中所述醛类化合物A1为碳原子数为2‑59且具有1‑4个甲酰基的化合物,所述酚类化合物A2为碳原子数为6‑15且具有1‑3个酚羟基的化合物。还提供了用于该组合物的环状化合物。
- 放射线敏感性组合
- [发明专利]放射线敏感性组合物-CN201210519762.3有效
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越后雅敏;小黑大
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三菱瓦斯化学株式会社
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2007-11-01
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2013-05-15
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C07C39/17
- 本发明提供了含有高灵敏度、高分辨力、高耐蚀刻性、低逸气量、以及得到的抗蚀图形的形状良好的抗蚀剂化合物的放射线敏感性组合物;以及使用该放射线敏感性组合物的抗蚀图形的形成方法;以及光学特性和耐蚀刻性良好的、而且实质上无升华物的用于形成新的光刻胶下层膜的组合物及由其形成的下层膜。该放射线敏感性组合物含有具有特定结构的环状化合物和溶剂,所述环状化合物为通过醛类化合物A1和酚类化合物A2的缩合反应而合成的分子量为700-5000的环状化合物A,其中所述醛类化合物A1为碳原子数为2-59且具有1-4个甲酰基的化合物,所述酚类化合物A2为碳原子数为6-15且具有1-3个酚羟基的化合物。还提供了用于该组合物的环状化合物。
- 放射线敏感性组合
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