[发明专利]一种冷却构件及真空镀膜设备

摘要

本发明涉及半导体生产设备领域，公开了一种冷却构件及真空镀膜设备，包括冷却板和旋转机构，所述冷却板包括若干根冷却条，所述冷却条与冷却液管路连通，所述旋转机构包括驱动件和转轴，所述驱动件与所述转轴的一端连接，所述转轴的另一端与所述冷却条连接。旋转机构驱动冷却板内的冷却条转动，冷却状态，冷却条与腔室内的基片平行，加大冷却面积，提高冷却效率；非冷却状态，驱动件驱动冷却条转动，使冷却条与腔室内的基片垂直，减小冷却面积，提高加热效率，实现工艺温度的快速切换，降低工艺生产时间，提高设备产能，节约能源消耗。

主权项

一种冷却构件，其特征在于，包括冷却板和旋转机构，所述冷却板包括若干根冷却条，所述冷却条与冷却液管路连通，所述旋转机构包括驱动件和转轴，所述驱动件与所述转轴的一端连接，所述转轴的另一端与所述冷却条连接。