[发明专利]气压检测装置及抛光设备有效
| 申请号： | 201711306370.8 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN108032211B | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 刘一鸣;佀海燕;刘福强;侯为萍 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B49/16;B24B37/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 梁斌 |
| 地址： | 100000 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例涉及抛光技术领域，具体涉及一种气压检测装置及抛光设备。所述气压检测装置包括盒壁、盒底、盒顶、压力检测模块、信号汇总模块、信号发送模块和电力提供模块，盒壁连接于盒底与盒顶之间，盒底、盒壁和盒顶构成一个容纳空间，电力提供模块与压力检测模块、信号汇总模块和信号发送模块连接，用于提供电力，压力检测模块、信号汇总模块和信号发送模块设置在容纳空间内，压力检测模块用于检测压力，信号汇总模块与所述压力检测模块连接，用于汇总压力检测模块的检测得到的压力信号，得到汇总压力信号，信号发送模块与信号汇总模块连接，用于将汇总压力信号发送出去。该气压检测装置能够精确测量气压。 | ||
| 搜索关键词： | 气压 检测 装置 抛光 设备 | ||
【主权项】：
1.一种气压检测装置，其特征在于，所述装置包括：盒壁、盒底、盒顶、压力检测模块、信号汇总模块、信号发送模块和电力提供模块；所述盒壁连接于所述盒底与所述盒顶之间，所述盒底、所述盒壁和所述盒顶构成一个容纳空间；所述电力提供模块与所述压力检测模块、所述信号汇总模块和所述信号发送模块连接，用于给所述压力检测模块、所述信号汇总模块和所述信号发送模块提供电力；所述压力检测模块设置在所述容纳空间内，用于检测压力；所述信号汇总模块设置在所述容纳空间内，与所述压力检测模块连接，用于汇总所述压力检测模块的检测得到的压力信号，得到汇总压力信号；所述信号发送模块设置在所述容纳空间内，与所述信号汇总模块连接，用于将所述汇总压力信号发送出去。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所），未经北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711306370.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
