[发明专利]镀膜膜层厚度任意变化的行星镀膜夹具遮挡板及制作方法有效
| 申请号： | 201711302671.3 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN108193167B | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 李鹏;刘洪朋;李号召;孙红晓;王一坚 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;G02B1/10 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 王鲜凯 |
| 地址： | 471099 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种镀膜膜层厚度任意变化的行星镀膜夹具遮挡板及制作方法，遮挡板包括圆盘形遮挡板和遮挡板上的开口；所述的开口形状的一个边为圆形沿的一段圆弧，另一个边为由圆心起始的半径，第三条边为由圆心向圆弧的渐变曲线；所述圆盘形遮挡板的直径与需要镀膜的光学零件的直径相吻合；所述由圆心向圆弧的渐变曲线与需要镀膜的光学零件的镀膜厚度相吻合。本发明应用行星夹具镀膜设备任意厚度变化膜层的制备，具有膜厚精度高、修正容易的优点，具有较高的推广应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 遮挡板 圆心 镀膜 镀膜夹具 镀膜膜层 光学零件 渐变曲线 圆盘形 行星 吻合 镀膜设备 厚度变化 开口形状 行星夹具 膜层 膜厚 条边 制备 制作 开口 修正 应用 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜膜层厚度任意变化的行星镀膜夹具遮挡板，其特征在于：包括圆盘形遮挡板和遮挡板上的开口；所述的开口形状的一个边为圆形沿的一段圆弧，另一个边为由圆心起始的半径，第三条边为由圆心向圆弧的渐变曲线；所述圆盘形遮挡板的直径与需要镀膜的光学零件的直径相吻合；所述由圆心向圆弧的渐变曲线与需要镀膜的光学零件的镀膜厚度相吻合；所述由圆心向圆弧的渐变曲线与需要镀膜的光学零件的镀膜厚度相吻合是：以曲线起始位置为零度角，膜层最厚所对应的角度为θⅠ，为最大半径之处；膜层最薄所对应的角度为θⅡ，半径为X。
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