[发明专利]一种用于扫描干涉场曝光系统的光束姿态调整方法有效
| 申请号： | 201711302638.0 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN107942426B | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 巴音贺希格;王玮;宋莹;姜珊;吕强;李文昊;刘兆武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B5/32;G03F7/20 |
| 代理公司： | 44316 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 赵勍毅<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 130033吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于扫描干涉场曝光系统的光束姿态调整方法，用于扫描干涉场曝光系统的光束姿态调整方法的结构包括光束宏动调整模块及光束微动调整模块，用于扫描干涉场曝光系统的光束姿态调整方法步骤如下：激光束首先进入光束微动调整模块进行微动姿态稳定，由光束微动调整模块调整后的出射光束再通过分束光栅，分束光栅分束后的光束再进入光束宏动调整模块进行宏动姿态调整；光束宏动调整模块对激光束的指向进行精确定位调整，光束微动调整模块对激光束漂移进行实时纠正，以此有效的对扫描干涉场曝光激光束的姿态进行指向控制和抖动抑制，达到保证曝光激光束指向的精度与稳定性的目的，对扫描干涉曝光获取优质的全息光栅槽型提供有力保障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 扫描 干涉 曝光 系统 光束 姿态 调整 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于扫描干涉场曝光系统的光束姿态调整方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1、一光源激光器发出的激光束先入射至一微动执行单元，然后通过一偏振分束棱镜，激光束被分为s光与p光，p光进入一微动测量单元，所述微动测量单元将激光束的姿态信息传递给一控制系统，所述控制系统进行光电信号转换，最后所述控制系统控制所述微动执行单元对激光束的姿态进行稳定控制；/nS2、s光经过一分束光栅被分为左右两束的曝光光束，左右两束的曝光光束入射至一光束宏动调整模块，左侧的曝光光束先入射至一宏动左侧执行单元，再由一基准光栅将左侧的曝光光束反射至一宏动测量单元中，右侧的曝光光束先入射至一宏动右侧执行单元，再由所述基准光栅将右侧的曝光光束衍射至所述宏动测量单元中，一工控机对所述宏动左侧执行单元以及所述宏动右侧执行单元输出驱动信号，以此分别对左右两束的曝光光束的指向进行调整；其中，所述光束宏动调整模块包括宏动左侧执行单元、宏动右侧执行单元、基准光栅、宏动测量单元以及工控机；/nS3、左侧的曝光光束与右侧的曝光光束在一光栅基底上形成曝光用的干涉条纹。/n
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