[发明专利]新型光辅助石英晶体微天平及其检测方法有效

专利信息
申请号: 201711285232.6 申请日: 2017-12-07
公开(公告)号: CN107917955B 公开(公告)日: 2019-12-03
发明(设计)人: 汪杰;刘磊;董明东 申请(专利权)人: 江苏大学
主分类号: G01N29/02 分类号: G01N29/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 212013 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种新型光辅助石英晶体微天平及其检测方法,所述微天平包括QCM/QCM‑D芯片、振荡电路、频率计数器、计算机、反应小室和一个光源,该光源发出的光线能够辐射在QCM/QCM‑D芯片表面上。本发明通过增设能够将光线照射到芯片表面的光源,在光辐照下,QCM/QCM‑D芯片表面性质发生改变,光源光辐照在QCM/QCM‑D芯片表面能引发共振频率的急剧上升,也引起了石英晶体力学性质和压电特性的改变,从而能够有效提高石英晶体微天平设备系统的检测灵敏度。
搜索关键词: 芯片表面 光源 石英晶体微天平 检测灵敏度 频率计数器 辐照 共振频率 光线照射 力学性质 设备系统 石英晶体 压电特性 振荡电路 光辐照 光辅助 光源光 微天平 小室 芯片 增设 辐射 计算机 检测
【主权项】:
1.新型光辅助石英晶体微天平,其特征在于,包括以下部分:/n一个QCM/QCM-D芯片(20),该芯片为石英晶体片层夹(16)在两片电极之间构成的三明治结构,该芯片及电极电路被金属、陶瓷或塑料外壳封装,形成在一个反应小室(12)中,所述芯片及所述外壳整体构成了石英晶体谐振器;/n一个振荡电路,为QCM/QCM-D芯片(20)中的石英晶体提供交变电场;/n频率计数器(22),用于监测QCM/QCM-D芯片(20)的共振频率;/n一个光源(6),该光源(6)发出的光线(12)能够辐射在QCM/QCM-D芯片(20)表面上,所述光源(6)产生的光线(12)的波长范围是200-400nm。/n
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